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可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
由于化工工艺的工况比较恶劣，工作周期很长，所以真空泵首先要可靠耐用、性能稳定，同时还必须具有下列性能：
●能够处理各种不同溶剂的蒸汽，且不会对泵造成损害；
●不会对工艺过程和环境造成污染；
●产生的废物要尽可能减少；
●真空泵要耐腐蚀；
●能够处理可燃性气体或蒸汽；
●能够吸入液体而不损害泵。
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真空泵的工作原理原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的变化而将气体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大，zui终通过油封将吸入的气体排出泵外。
旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有结构紧凑，岛津磁悬浮涡轮泵维修与保养，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
罗茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一种旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵，需要用前级泵辅助。如：水环式真空泵，滑阀真空泵，立式无油真空泵，日本shimadzu分子泵叶轮，分子真空泵等。国内zui大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。
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另外，罗茨泵能在很宽压力范围内(1000~1Pa)有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和旋片式机械泵在该压力范围内抽速很小的缺点，故又称机械增压泵。广州真空泵维修
无法启动
*先应检查电源供电情况：接头连接是否牢靠；开关接触是否紧密；保险丝是否熔断；三相供电的是否缺相等。如有断路、接触不良、保险丝熔断、缺相，应查明原因并及时进行修复。其次检查是否是水泵自身的机械故障，常见的原因有：填料太紧或叶轮与泵体之间被杂物卡住而堵塞；泵轴、轴承、减漏环锈住；泵轴严重弯曲等。排除方法：放松填料，疏通引水槽；拆开泵体清除杂物、除锈；拆下泵轴校正或更换新的泵轴。
除了扩散泵外，基于利用定向蒸气流来携带被抽气体分子的蒸气流泵中，尚有水蒸气喷射泵，和油喷射-扩散泵(又称油增压泵)，在粗真空和中真空范围内也有着相当广泛的应用。
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