洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，净化车间装修，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，贴膜净化车间装修，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，食品包装室净化车间装修，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
清洁车间食品工厂的选址、设计、布局、建设和改造中
在清洁车间食品工厂的选址、设计、布局、建设和改造中，应尽量避免污染源、交叉污染、混搭和差错。工厂环境干净整洁，人和物流合理。采取适当的门禁措施，防止未经授权的人员进入。保存施工和竣工数据生产过程中空气污染严重的建筑物，应建在厂区的下风侧，三类器械净化车间装修，全年风向多。相互影响的生产工艺不宜设置在同一建筑内时，应在各生产区域之间采取有效的隔离措施。发酵产物的生产应设有专门的发酵车间。
十万级无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间室内空气经处理后，所含微粒数少于一定数量要求，一般分十万级、万级、千级等，即室内每立方米空间的微粒数不大于十万、一万、一千个……。
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