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分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体;除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体

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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修

小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，珠海进口爱德华真空泵，满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，进口爱德华真空泵多少钱，而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明，也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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  BOC EDWARDS STP 磁悬浮涡轮分子泵，对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用，Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵是优选泵。并且大多数Edwards STP磁悬浮涡轮分子泵型号均还提供镀镍涂层的内部过流部件和氨气吹扫设备的耐腐蚀型号，是化学实验室应用的理想选择。

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