




昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。
瑞典VMI Viber-x5振动分析仪成功解决半导体行业光刻机机台的振动问题
光刻机一般分为步进投影和扫描投影光刻机两种,精度为七纳米至几微米之间,光刻机是世界上精密的仪器,对振动的要求非常高。瑞典VMI Viber-x5振动分析仪所采用的振动标准为VC微振动标准,VC微振动标准分为:VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。对于洁净室的光刻机设备的振动要求机台振动必须满足CV-D 6.25um/s RMS以下。名的光刻机制造商荷兰ASML要求洁净室的楼板及机台振动必须符合VC-D标准才能实施装机,Viber X5振动分析服务,某名半导体制造商使用瑞典VMI Viber-x5振动分析仪进行洁净室的现场数据采集,发现洁净室楼板的振幅只能满足VC-C12.5um/s RMS,无法满足CV-D 6.25um/s RMS。通过瑞典VMI Viber-x5振动分析仪的频谱分析功能,发现了振动超标的频率并成功找到振动源,经过瑞典VMI振动分析师的协助成功的解决了洁净室楼板振动。

昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。
Viber X5? 组件:
仪器主机(1 台),仪器手带(1 套),充电器(1 个),加速度传感器/连接电缆/磁座(2 套),探杆(1 个),USB 通讯电缆(1 根),IP68 仪器箱(1 个)。
Viber X5? 动平衡组件:
激光转速传感器和5 米电缆(1 套),转速传感器磁性快速安装支架(1 套),传感器延长电缆5M(2 根),口袋电子秤(1 个)。平衡组件可放置在仪器箱中。

昆山金斗云测控设备有限公司(GOC)是一家多元化科技型企业。GOC公司一直致力于设备状态监测和故障诊断技术的产品研发,以创造工业预测维修的价值为宗旨。
频谱测量 : 这个测量显示出设备振动的频谱图及时间波形,主要分析设备的不平衡、不对中、机械松动等故障,此功能拥有高达25600 线数,高达 131KHz 以上的采样速率。
包络测量 : 包络是强调高频能量的频谱测量,主要用于发现轴承、齿 轮 箱 的 早 期 故 障 以 及 泵 的 气 蚀 等,此 功 能 拥 有 从20Hz-20000Hz 不同频宽的选择。

泰州Viber X5振动分析服务-金斗云测控(推荐商家)由昆山金斗云测控设备有限公司提供。昆山金斗云测控设备有限公司是江苏 苏州 ,仪器仪表的见证者,多年来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在金斗云测控领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创金斗云测控更加美好的未来。