DLC涂层的特点:1. 超高硬度与耐磨性。维氏硬度达 5000–10000 HV(接近天然金刚石),可有效抵抗刮擦和磨损,延长部件寿命。例如,DLC镀膜,在冲压模具中应用后,DLC镀膜厂家,寿命提升至 >50万模次,维护成本降低42%。2. 超低摩擦系数。摩擦系数低至 0.02–0.15(钢的摩擦系数约0.6),显著减少运动部件的能量损耗,适用于高精密滑动场景。如新能源汽车电机轴承,磨损量降低90%。
类金刚石碳膜(diamond-like carbon films,简称DLC膜),是含有类似金刚石结构的非晶碳膜,也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的来源和制备方法的差异,DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键,主要包含sp2和sp3两种杂化键,在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究,正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等。不同的制备方法,DLC膜的成分、结构和性能不同。

DLC沉积工艺的温度区间通常在150–350℃之间,不同膜种对热稳定性要求不同。a-C:H可在较低温度下形成较厚膜层,而ta-C通常需要更高能量和真空度,适用于耐热基材。气体组成如CH?、C?H?、Ar等的比例会影响氢含量和sp3/sp2结构,从而改变摩擦系数与耐磨性能。偏压越高,沉积能量越强,DLC镀膜项目,涂层致密度越大,但残余应力也相应提升,因此必须根据工件几何形状和应用工况平衡参数。

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