茂名英福康氦气检漏仪-广州潽拓光电公司

广州潽拓光电科技有限公司——英福康氦气检漏仪

INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计， BPG400， 将两种真空计集成在一个简单小型的单元内， 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合技术降低了安装， 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG400 用于普及和可再现过程中的基本压强测量.

用 途

■ 半导体工艺过程和传输室中的压强测量

■ 工业镀膜

■ 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制

按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

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根据收集氦的不同方法，英福康氦气检漏仪维修服务，正压法可分为正压吸*法和正压累积法。

正压吸qiang法：用检漏仪吸qiang扫描探测被检查产品外表面，实现漏孔的准确定位；

正压积累方法：使用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有检测产品，使用泄漏检测器测量一定时间段前后氦罩内氦浓度的变化，实现检测产品总泄漏率的准确测量。

正压法的优缺点

正压法的优点是真空系统不需要辅助，可以准确定位，在任何工作压力下实现检测。

正压法的缺点是检测灵敏度低，检测结果不确定，受测量环境条件影响较大。

无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，茂名英福康氦气检漏仪，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比，使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉，冷柜内胆氦检漏设备，很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，英福康氦气检漏仪维修价格，相当于0.1g/y，其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20，同时氦气检漏法要增加一些辅助设备，如氦气回收系统等。

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氦罩法

在这种方法中，用塑料薄膜包裹被测容器，首先除去罩子中的空气，然后充入氦气或氦气混合气体，检漏仪与被测容器的内部连接，当检漏仪显示泄漏率时，指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。另外，工件水检后，外表面有水，德国英福康氦气检漏仪，需烘干处理，耗电多，耗费劳动力也多。如果总泄漏率不超过标准值，则每个泄漏率不超过标准值；如果总泄漏率超过标准值，检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔，直至达到合格标准。

4. 背压法（Vacuum Test: Bombing Test）

1）密封器件的检测方法

2）高重复性

5.  真空累积法（Integral test of enclosed parts under vacuum）

1）易于自动化检测

2）精度极高

3）高重复性

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