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小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明，爱德华高真空分子泵费用，也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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(Boc Edwards）是英国真空设备供应商，在真空和减排方面Edwards稳居全*领*地位。

真空泵在不同的工作压力范围和不同的工作要求下使用不同的类型。分子真空泵，从化爱德华高真空分子泵，它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之获得定向速度，爱德华高真空分子泵复养，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

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Edwards XDS10可调气囊允许处理蒸汽，将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。XDS 泵用于泵送可冷凝的蒸汽，可以使用为广泛的实验室湿化学应用所选择的各种材料。

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