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按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
氦质谱检漏背压法
背压法适用于那些行业？背压法主要用于检漏各种电子元器件。
采用背压法进行泄漏检测时，首先将被检测产品放入高压氦气室中，浸泡数小时或数天。如果被检测产品表面有漏孔，氦将通过漏孔压入被检测产品的内部密封腔，从而增加内部密封腔内的氦分压。然后取出被检测产品，将表面残留的氦气吹出，然后将被检测产品放入与检漏仪连接的真空容器中。被检测产品密封腔内的氦气将通过漏孔泄漏到真空容器，然后进入氦质谱检漏仪，以测量被检测产品的总泄漏率。检漏仪给出的泄漏率值为测量泄漏率，需要通过转换公式计算被检测产品的等效标准泄漏率。
背压法的优缺点
背压法的优点是检测灵敏度高，可实现小型密封容器产品的泄漏检测，可批量检测。
背压法的缺点是大型密封容器不能泄漏，否则由于密封腔体积过大，加压时间过长。此外，每个测量泄漏率对应两个等效标准泄漏率。仔细检查后，需要采用其他方法进行粗略检查，以消除大泄漏的可能性。
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INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计，BPG400，BPG402-S将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中（BCG450是B-A，皮拉尼，电容薄膜三证功能复合在一起），测量范围为 5×10-10mbar至大气压（3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
直接测量真空计 这种真空计直接测量单位面积上的力，有:
(1)静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。
(2)弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。
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INFICON BPG400英福康真空规管- INFICON英福康二手真空传感器-英福康BPG400真空探头维修
优点：
1，英福康氦气检漏仪维修，极宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)
2，*好的重复*，过程压强范围10-8...10-2毫巴均为5%
3，皮拉尼连锁保护灯丝，防止过早烧毁
4，双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝
5，可选图形显示和现场总线接口
6，自动高真空皮拉尼调整.减少操作人员的干预
7，容易更换具有在机校准的传感元件.保证高度重复性
8，lcd显示可选，性*比更高。
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