和其他产业不同,历城净化工程维护,集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成,半导体净化工程维护,从单晶硅片制造,到IC制造的几乎所有环节,到IC封装都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。如,14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高,对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环,直接决定了终产品的成败。









集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关,洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节,属于生产辅助性工程,直接和投资相关,不受限于技术瓶颈,即使我国在制造工艺上尚存在差距,但是洁净室工程行业不受影响,获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,微生物净化工程维护,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。

洁净室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度,是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰,而完成这些功能的系统设备就是构成洁净室的主体:内装(吊顶、墙板)、DCC、 MAU、FFU。方案特点:A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。

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