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Edwards STPA2203C磁悬浮涡轮分子泵 的进气法兰口ISO250F，出气法兰口KF40，抽速可达到2200L/s，转速为27000rpm，Edwards STPA2203C磁悬浮涡轮分子泵 使用全新的半机架控制器能够节省更多空间，且采用直流驱动，无需电池即可运行。
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