高纯氩气无色无味气体。化学性质很不活泼，未形成任何化合物。今天来带大家简单了解一下高纯氩气的特点及用途。
高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气也可作为色谱载气。
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建筑节能意识的随着不断的提高，玻璃的保温隔热性能也逐渐成为了大家的关注点。本文重点介绍一下中空玻璃内部为什么要充高纯氩气？
众所周知，高纯氩气是惰性气体的一种，具有无色、无味、的特性，同时具有稳定性。在空气中，其含量约占1%。二者的物理性能对比如表1，由表1可见，高纯氩气的密度、动态粘度高于空气，导热系数和比热容低于空气。充入中空玻璃中，可减缓中空玻璃内的热对流和热传导，从而减弱整体中空玻璃的导热能力，传热系数K值得以降低。
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高纯氩气在半导体行业的应用
半导体行业对高纯氩气依赖程度极高。在半导体芯片制造过程中，许多环节都需要在高纯氩气环境下进行。例如，在化学气相沉积工艺里，氩气作为载气，携带反应气体准确到达硅片表面，保障沉积过程的正确性与稳定性。
离子注入工序中，氩气用于形成离子束，对硅片进行掺杂，准确控制半导体材料的电学性能。在晶体生长时，氩气营造惰性氛围，防止硅晶体被氧化，确保晶体质量。高纯氩气为半导体制造提供了洁净、稳定的环境，有力推动了芯片制造技术的进步，保障了半导体产品的性能高与高可靠性。
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