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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修

小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间，而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明，也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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Edwards真空泵是上畅*的真空泵之一，也是全真空泵行业的真空获得设备生产制造商，用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造， 及工业、制药、化工、加工、玻璃镀膜、食品包装等行业。

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Edwards STPA2203C磁悬浮涡轮分子泵 的进气法兰口ISO250F，出气法兰口KF40，抽速可达到2200L/s，转速为27000rpm，Edwards STPA2203C磁悬浮涡轮分子泵 使用全新的半机架控制器能够节省更多空间，且采用直流驱动，无需电池即可运行。

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