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氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，利用了氦气的流动性和质量大于氮气、氧气等气体这一特性。
该系统的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比关系，对于压力范围0.5~8大气压，在很小的泄露量下就能探测出来（小于1Pa·m3/s）。此外还配备了真空泵对测试工件进行抽空处理，将工作空间的工作压力降低到规定的要求参数值内；电器控制系统负责整个试验过程的操作和调节控制；而示差式电路不但能根据被测样品放出的低频成分来校正测量结果而且还能使仪表具有自动反吸功能。

真空箱氦检漏系统主要用于检测电子产品的密封性能，工业真空检测解决方案，常用于手机、笔记本电脑等产品在量产线上的可靠性和一致性测试。该系统的操作原理是：首先将待测电子产品放入真空气氛室中抽真空并充入高纯度惰性气体——氦气；然后通过的信号发生器产生高频电脉冲或机械振动源（声学法），均匀地辐射到被测样品上形成特定的应力场；接着利用示踪粒子“氦”原子无色透明且易与环境介质充分渗透的特点，使氦气的浓度能够迅速传递到达泄漏点并在其中弥散和溶解起来；使用灵敏的测量仪器对抽取到的含有微小泄露物的样本进行定量分析以得出样品的实际压力值并与参考标准相比较来判断是否合格。

氦检漏系统是一种用于检测和诊断气密性缺陷的技术。它利用氦气在密封空间中的膨胀特性，对封闭空间内的气体进行检测，以确定是否存在泄漏。
氦检漏系统包括氦气发生器、氦气检测器和氦气流量计等设备。氦气发生器将高压气体氦气压缩到一定压力，然后通过氦气检测器将氦气注入到封闭空间中。氦气检测器通过检测氦气的压力变化来确定是否存在泄漏。氦气流量计用于测量封闭空间中氦气的流量。
氦检漏系统广泛应用于航空航天、石油化工、电子电气、汽车制造等领域，用于检测气密性缺陷，保证产品质量和安全生产。
检测泄漏的原理是，当封闭空间中的氦气压力低于泄漏标准时，氦气会在泄漏处扩散，导致氦气压力降低。通过检测氦气压力的变化，可以检测到泄漏点。
氦检漏系统的性能指标包括漏率、灵敏度和精度等。漏率是指在一定量的气体中泄漏的氦气量，是衡量检漏系统性能的重要指标。灵敏度是指氦检漏系统检测到泄漏的能力，即漏率越小，灵敏度越高。精度是指氦检漏系统的误差，即检测到的泄漏量与实际泄漏量之间的误差。
总的来说，氦检漏系统是一种、、灵敏的气密性检测技术，广泛应用于各个领域，对保证产品质量和安全生产起着重要作用。