氦检漏系统主要用于检测真空设备或容器中的微量泄漏，以保证其密封性能。其中一种常用的方法是使用超声波法进行测量的原理。
具体来说：当声源（通常为20kHz）发出的超声信号进入被测试的物品后发生反射和折射现象返回给；如果存在微小泄露物时就会在物体表面形成驻留压力场，产生一个与该物体的温度、湿度以及大气压紧密相关的声音振荡频率即回音或者说是杂散噪声；通过测量这种由可听声组成的复合噪音的大小即可得知相应的漏洞大小。
真空箱氦检漏系统是一种用于检测产品泄漏率的设备。其工作原理主要包括以下几个步骤：
1.首先，ul1000氦质谱检漏仪，将待测物品放入真空气密腔内，气密腔由被抽空的内室和连接的管道组成；其中，在内室的顶部装有顶针机构，当需要放气时可通过控制电路打开顶针使气体进入大气中排放到室外或通过冷凝回收装置进行收集处理。在进气管上还设有压力表、电磁阀与充注等附件供操作人员在试验前对气压进行检查和控制以及向气路系统中充入惰性保护气体。2.然后启动增压泵开始抽出测试仓的压力至0.5-0.6KPa(5-6mbar)左右，关闭增压泵电源并接通试件控制系统电源，并将探头安装在密封容器的法兰盘处。3.利用示差法判别泄露部位及大致位置尺寸;根据读数可以判断出泄漏率的大小。
氦检漏系统主要是利用二次元示波器来检测压力容器的泄漏，其工作原理是通过电子流量计测量出一定时间内通过测试工件的气体体积和气体密度。然后根据标准大气压下气体的压缩公式：PV=RT，计算出被测产品的内压力值.
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