洁净室功能目的的三大控制重点粉尘、温度、湿度，是由气密、回风、过滤、冷却、新风等来主宰，而完成这些功能的系统设备就是构成洁净室的主体：内装（吊顶、墙板）、DCC、 MAU、FFU。方案特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
和其他产业不同，集成电路产业链几乎所有环节都需要在洁净室内完成，从单晶硅片制造，到IC制造的几乎所有环节，到IC封装都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。如，14纳米工艺中7纳米的微粒就会影响制造过程。集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，直接决定了终产品的成败。
送风过滤设备：高效送风口选用不锈钢结构，漂亮清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，易清洁；送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温棉；5、高效过滤器设备前，微生物净化车间维护，有必要对洁净室进行悉数清扫、擦净，净化空调系统内部如有积尘，应再次清扫、擦净，到达清洁需要。如在技术夹层或吊顶内设备高效过滤器，则技术层或吊顶内也应进行悉数清扫、擦净。
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