




气敏传感器——嗅觉化学传感器——味觉传感器(图1)压敏、温敏、流体传感器——触觉敏感元件的分类:物理类,基于力、热、光、电、磁和声等物理效应。化学类,基于化学反应的原理。生物类,日本EIKO张力测器代理,基于酶、、和等分子识别功能。通常据其基本感知功能可分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、线敏感元件、色敏元件和味敏元件等类(还有人曾将敏感元件分46类)。

其基片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片内接成电桥形式。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,日本EIKO张力测器,电桥就会产生相应的不平衡输出。用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用为普遍。热电阻传感器(图6)热电阻测温是基于金属导体的电阻值随温度的增加而增加这一特性来进行温度测量的。热电阻大都由纯金属材料制成,应用的是铂和铜,此外,已开始采用镍、锰和铑等材料制造热电阻。
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