




高纯氩气无色无味无毒气体。化学性质很不活泼,未形成任何化合物。今天来带大家简单了解一下高纯氩气的特点及用途。
高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气也可作为色谱载气。
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相信大家都已经知道高纯氩气是一种稀有气体,那么今天小编就来给大家简单介绍一下运输高纯氩气时要注意哪些方面,希望可以帮到大家。
1、采用车辆运输时,高纯氩气瓶应妥善固定。立放时,车厢高度应在瓶高的2/3以上,卧放时,瓶阀端应朝向一方,垛高不得超过五层且不得超过车厢高度。
2、夏季运输应有遮阳设施,避免曝晒;在城市的繁华地区应避免白天运输。
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高纯氩气在半导体行业的应用
半导体行业对高纯氩气依赖程度极高。在半导体芯片制造过程中,许多环节都需要在高纯氩气环境下进行。例如,在化学气相沉积工艺里,氩气作为载气,携带反应气体准确到达硅片表面,保障沉积过程的正确性与稳定性。
离子注入工序中,氩气用于形成离子束,对硅片进行掺杂,准确控制半导体材料的电学性能。在晶体生长时,氩气营造惰性氛围,防止硅晶体被氧化,确保晶体质量。高纯氩气为半导体制造提供了洁净、稳定的环境,有力推动了芯片制造技术的进步,保障了半导体产品的性能高与高可靠性。
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