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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel二手分子泵维修厂家 真空泵技术升级

半导体产业链包括上游的半导体支撑产业，中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备，其中真空产品主要在半导体设备领域应用；中游半导体制造的he心是集成电路制造，包括IC设计、IC制造以及IC封测；下游的半导体应用领域众多，quan球半导体应用领域排名前san的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/yi疗。真空泵技术升级

干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。真空泵技术升级

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。真空泵技术升级

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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel二手分子泵维修厂家 分子泵升级改造

旋片泵为双级结构，是由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时，高压级排气阀片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使设备获得更高的真空。分子泵升级改造

真空泵抽不出液体

　　1.没有灌注液体。解决方案：重新灌真空泵。

　　2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案：消除杂物

　　3.吸入管或真空泵内没有排净气体。解决方案：检修吸入管路并排净气体

　　4.吸上高度超过允许范围。解决方案：按允许吸上高度重新按装真空泵

　　5.压出管路太细，管路损失太大。解决方案：换适合的压出管路

　　6.使用扬程超过了设计扬程。解决方案：重新选真空泵

　　7.输送热的、挥发性的介质。解决方案：降低吸程或采用倒灌按装。

　　8.转向反了。解决方案：纠正转向

压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。 泵对氢的压缩比很小，一般为1000左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为110-7Torr（13.33Pa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为110-10Torr（13.33nPa）。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，Alcatel二手分子泵维修厂家，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。分子泵升级改造

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广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel二手分子泵维修厂家 进口真空泵维修

 泵壳内注有循环水，在抽真空时，叶轮旋转，在离心力的作用下，泵壳内的循环水被甩至叶轮四周，在泵壳内壁形成一个旋转水环。又因叶轮是偏心安装在泵壳内的，因此水环与牙状叶片之间形成的空间大小不同。进口真空泵维修

飞轮变形或螺杆磨损

长期使用后，泵内部机械部件可能出现变形或损坏，从而影响泵的效率和性能。如飞轮变形或螺杆磨损，会导致泵的振动、噪音和效率下降，此时需要拆除故障部件并更换新的零部件。进口真空泵维修

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100Pa的真空度，选用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果jue对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

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