洁净室施工可以分为6个子系统，总体能分为洁净系统和机电系统，分别占洁净室工程的50%，50%。洁净室施工需要具备较强的基础和技术实力，属于技术密集型，毛利相对较高。对于集成电路项目和新型显示项目，一般来说，洁净室施工占总投资比例10%-15%，土建施工占总投资比例6-10%。总投资中70-80%投入到固定资产，芯片净化车间厂家，固定资产中20-30%投入到厂房建设中，厂房建设可以分为3个部分，工程设计、土建施工、洁净室施工，安阳芯片净化车间，其分别占的比例为2-7%，30-40%，50-70%。
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