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喷氦法
这是用于检测待连接到仪器的设备相对较小部分的zui常用方法,在良好真空后,inficon英福康真空计保养价格多少,使用喷在被测设备可能存在泄漏的地方(例如密封接头、焊缝等)喷射氦气。如果被测设备的一个部分存在泄漏,当氦气喷射到泄漏处时,氦气立即被吸入真空系统,当气体分散到质谱仪室中时,氦气泄漏检测器的输出将立即响应。以这种方式,应当注意,氦是一种轻惰性气体,在被喷射后自动上升,为了准确地将氦喷射到泄漏孔中,应当从上到下和从近到远(相对于检漏器位置)喷射氦。此外,泄漏孔与质谱仪室的反应时间不同,因此,氦注入应从靠近检漏仪的一侧开始,并从近到远进行。氦质谱检漏仪维护
吸氦法主要用于检查一些大型密封容器。例如,弹体、tan头、气罐、油箱等,首先将容器抽真空,然后填充氦气(为了节省氦气量,可以使用低浓度氦气),将橡胶管连接到氦质谱检漏仪的入口法兰,橡胶管的前端设有一个直径非常小的毛细管,使毛细管在焊缝和待检充氦容器外壁的密封接头等处移动,如果容器发生泄漏,泄漏的氦气将被吸入毛细管,检漏仪将作出响应。氦质谱检漏仪维护
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氦质谱检漏仪的工作原理是利用氦气分子在真空中扩散的特性,通过将氦气注入被检测物体内部或周围环境中,然后使用氦质谱仪检测周围环境中是否存在氦气,如果存在,则说明被检测物体存在漏洞或裂缝。因为氦气分子非常小,能够穿过非常小的漏洞或裂缝,因此氦质谱检漏仪能够检测到非常小的漏洞或裂缝。同时,氦气是一种非常稳定的气体,不会与其他物质发生反应,不会对被检测物体产生影响。
质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了
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