环氧灭菌时可采用100%纯环氧或环氧和二氧化碳混合气体。禁止使用氟利昂。解析可以在环氧灭菌柜内继续进行，也可以放入专门的通风柜内，环氧乙烷灭菌设备，不应采用自然通风法。反复输入的空气应经过过滤，可滤除≥0.3um粒子99.6%以上。环氧残留主要是指环氧灭菌后留在物品和包装材料内的环氧和它的两个副产品和乙二醇；接触过量环氧残留可引起灼伤和刺激。环氧残留的多少与灭菌物品材料、灭菌的参数、包装材料和包装大小、装载量、解析参数等有关。
EO在消毒领域；EO在消毒与灭菌中的应用已久，环氧乙烷灭菌，是迄今为止得到全世界公认的可靠化学气体灭菌剂。过去EO主要用于工业规模的消毒与灭菌，随着现代工业技术和自动化、智能化技术的发展，已经使得EO灭菌技术可以安全地用于机构不耐高温、高湿的精密的灭菌。EO是继甲醛之后出现的第二代化学消毒剂，至今仍为好的冷消毒剂之一，也是目大低温灭菌技术（低温等离子体、低温甲醛蒸汽、EO、）的一员。
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