洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
净化车间工程中有哪些需要关注的细节。企业保证生产环境是非常必要的。例如，电子半导体净化车间装修设计，工厂选址、总平面设计、车间布局、设备选型、生产和产品质量管理等“大问题”是重要的监控点。然而，在10万级净化车间项目的设计和实施中，有一些细节需要特别注意。空调净化中需要注意的节能。10万级净化车间工程空调净化是一项主要的能源消耗，在设计和施工中应采取节能措施。在设计中，系统和面积的划分、供气量的计算、温度和相对温度的确定、洁净水平和换气率的确定、新风比、风管的保温、风管制造中咬口形式对漏风率的影响、主支管连接角度对气流阻力的影响、法兰连接是否漏气、空调箱、风机、冷水机组等设备的选择都与能耗有关。因此，在100，000级净化车间项目中必须考虑这些细节。
净化工程中空气净化处理方案。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
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