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减压器的使用要点

(1) 使用前应确认减压器是完好的，气体管路设计，并检查有无油脂污染，特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。

(2) 检查气瓶是否有油脂污染，螺纹是否损坏，如发现有油脂或螺纹损坏，就不再使用该气瓶，并将这些情况通知供气单位，清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染，修复螺纹。

(3) 把减压器装到气瓶阀上，将输入输出接头拧紧。

(4) 打开气瓶阀前，先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。

(5) 打开气瓶阀前，先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。

(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆，放出一部分气后重新调节。

(7) 当工作结束后，先关闭气瓶阀，然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好，逆时针方向旋转调节螺杆，一直到调节弹簧不受压为止。

(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动，不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。

(9) 减压器只能使用规定的气体。

不同气体配管要求

腐蚀性能较强的气体时，须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则，管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔，从而污染输配的纯净气体。

大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊时组织不发生变化。含碳过高的材料在焊接时，受焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透，破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度，导致我们的各项努力全部失去意义。

高纯气体管路的设计要点：

1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，气体管路设计怎么用，风险也越高，气体管路设计厂商，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S，毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，气体管路设计厂家，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端气体过滤器。