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如果使用真空法检测泄漏，则应使用辅助真空泵或泄漏检测器对测试产品的内部密封室进行真空处理，并通过氦帽或喷雾法将氦气施加到测试产品的外表面。如果被测产品表面有泄漏孔，氦气通过泄漏孔进入被测产品，然后进入氦气质谱仪检漏仪，实现对被测产品的泄漏测量。根据泄漏方法的不同，真空过程可分为真空注入法和真空氦帽法。
在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。
如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。
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膜盒真空计的国内产品目前尚少。国外产品的精度为满度值的士0.3%，是一种精密的仪器， 不少单位作副标准规使用，在使用中，英福康氦气检漏仪分子泵，常常申接一-个阻尼阀，用以避免压力变化过快出现冲击。英福康真空计维修
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。英福康真空计维修
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。英福康真空计维修
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表征压力控制仪的主要技术指标是压力控制范围、控制精度、流量控制范围、反应时间等。它取决于其配用的真空规管、控制电路及真空调节阀的性能。压力控制仪广泛应用于离子注入、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技术及半导体材料等领域，其使用的环境条件与同类型的真空计大致相同。英福康真空计保养
皮拉尼型真空计利用惠斯通电桥 Wheatstone bridge 的补偿原理，其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时，其热导率会有所不同，因此灯丝所表现的温度也会不同，间接影响电阻值的大小。固定电压，固定电流以及固定温度中以*后一种方法做敏感。值得注意的是，不同气体的热导率不同，因此在测量的时候要刻度上需要校对。英福康真空计保养
2. 衍生出两种类型的皮拉尼规
1) 稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度
2) 稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）
3. 气体的热传导，与下列提条件有关:
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